露光装置のしくみ
半導体露光装置
進化を続ける半導体産業を支える最前線テクノロジー
日々進化する半導体の世界。キヤノンの半導体露光装置は、最先端の厳しい要求に応えながら、先を見据えた技術開発に注力してきました。そして、キヤノンの光学技術や制御技術をけん引する役割も果たしています。
半導体露光装置のしくみ
半導体露光装置は、シリコンウエハーと呼ばれる基板の上に、レチクルに描かれた回路パターンを投影レンズで縮小し、投影露光する装置。ひとつのチップを作るために、十数種類のレチクルが必要で、半導体チップ製造において、特に重要な装置となっています。1枚のウエハー上を移動（ステップ）しながら数百のチップを露光するので、ステッパーとも呼ばれています。
液晶露光装置
大画面液晶テレビの製造に欠かせない超大型露光の技術
大型液晶テレビに使用される液晶パネルは、大型ガラス基板に微細な画素回路を露光する技術でつくられます。キヤノンの液晶露光装置は、57型ワイドテレビの一括露光も可能。この装置のトップメーカーとなっています。
液晶露光装置のしくみ
液晶露光装置は、ガラス基板上にマスクに描かれた微細な画素パターンや回路パターンを転写し、ディスプレイやテレビの液晶パネルを製造する装置。キヤノンの液晶露光装置は、独自のミラー投影光学系のミラースキャン方式を採用。光源から出た光を大型凹面ミラーをはじめとしたミラー投影光学系で制御。広い露光領域を誇り、色収差がなく像性能も劣化しないため、高い生産性を実現しています。
- 製品の核となる技術の開発ストーリー：
- イメージング開拓史「新たな価値を生み出し続ける光学技術（半導体露光装置）」
